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Æóðíàë "Íàíî- è ìèêðîñèñòåìíàÿ òåõíèêà"
- microsystems.ru
Åæåìåñÿ÷íûé ìåæäèñöèïëèíàðíûé òåîðåòè÷åñêèé è ïðèêëàäíîé íàó÷íî-òåõíè÷åñêèé æóðíàë "Íàíî- è ìèêðîñèñòåìíàÿ òåõíèêà" îñâåùàåò ñîâðåìåííîå ñîñòîÿíèå è òåíäåíöèè ðàçâèòèÿ ìèêðîñèñòåìíîé òåõíèêè (ÌÍÑÒ), ðàññìàòðèâàåò âîïðîñû ñîçäàíèÿ è ðàçðàáîòêè ìèêðîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèõ è ìèêðîîïòîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèõ ñèñòåì (ÌÝÌÑ/ÌÎÝÌÑ),
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