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Halbleitertechnologie von A bis Z - Halbleiter.org
Halbleitertechnologie von A bis Z: Grundlagen der Chemie, Halbleitertechnologie und Halbleiterfertigung. Einblick in die Waferherstellung, Oxidationsverfahren, Abscheidung, Lithografie, Metallisierung, Nasschemie und Trockenätzen.
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